CZA-4N/FXシリーズ不活性ガス精製器

CZA-4 N/FXシリーズ
不活性ガス精製器の原理は、合金吸着剤が高温で酸素、窒素、水、二酸化炭素、炭化水素類などの不純物と反応して安定な化合物や固溶体を生成できる性質を利用してアルゴン、ヘリウム、ネオン、キセノンなどの不活性ガス中の上記不純物を除去することで精製の目的を達成し、浄化後に得られた高純度ガスは半導体、電子、冶金、リチウム電池製造、光ファイバなどの産業部門の分析と科学研究に広く用いられている。
製品の特徴
n浄化程度が深く、Oを除去できるだけでなく₂などの比較的活発な不純物、しかもNを除去することができます₂などの不活性不純物、これは一般的な浄化機ではできない、
n本精製器はツインタワー構造であり、1組は動作し、もう1組は予備であり、2台の浄化機を頂部に使用する。
n動作温度が低く、エネルギー消費量が少ない。
n本シリーズの精製器は予備浄化塔を配置し、合金吸着塔の前に比較的活発な不純物を除去したため、合金吸着塔の使用寿命を大幅に延長した
技術パラメータ

デバイス名	設備型番	動作モード	コメント
不活性ガス精製器	CZA-4N	半自動	Ar
	FX□-Z	半自動	□Ar、He、Xe、KeまたはNeを選択する
ガス原要求 Ar、He	じゅんど	≥99.99%一般ボトル純アルゴン、液体アルゴン
	不純物要件	O2≤200PPm, H2O≤1000PPm，N2≤100PPm
しゅつりょくガス	じゅんど	≥99.9999%
	不純物含有量	O2≤0.5PPm；N2≤0.5PPm；H2O≦1 PPm（すなわち露点≦−76℃）、 CO+CO2≤0.1PPm；塵埃粒子数（≧0.3μm）3〜5個／リットル
さぎょうあつりょく	0～1.0MPa
しょりガスりょう	1～4Nm3/h
コメント	ユーザの要求に応じて製造を設計可能